SHVLP-IP
ОПИСАНИЕ
Серия SHVLP-IP — программируемые высоковольтные источники питания для магниторазрядных насосов, предназначенные для монтажа в серверную стойку. Линейка включает модели с положительной и отрицательной полярностью, ступенчатым выходным напряжением 3–5–7 кВ (Step-mode) и мощностью от 20 Вт до 700 Вт. Все модели оснащены цифровыми интерфейсами управления, программирование ступеней доступно во всём диапазоне тока и напряжения (от 0 до номинала). Для удобства пользователю поставляется программное обеспечение для ПК, а также открыт протокол передачи данных для интеграции в собственные системы управления. Реализован комплекс защит с настраиваемыми порогами срабатывания, а также ручная регулировка по току, напряжению и мощности. Модели обеспечивают прецизионное измерение тока (от 100 нА) для мониторинга состояния вакуумной системы. Логирование событий: фиксация срабатывания защит, ступеней, токов в энергонезависимой памяти.
ОСОБЕННОСТИ
- Защита по входному питанию
- Защита от перегрузки и короткого замыкания
- Защита от повышенного/пониженного напряжения на выходе
- Защита от дугового разряда
- Активный корректор коэффициента мощности с КПД 99%
- Ступенчатое регулирование 3-5-7 кВ (Step-mode)
- Прецизионное измерение тока от 100 нА
- Поддержка цифровых интерфейсов RS-232, RS-485, USB, Ethernet
- Интуитивно понятное пользовательское ПО
- Логирование всех событий
- Безвентиляторное исполнение для «чистых» сред
- Производство, поддержка и обслуживание - РФ
ПРИМЕНЕНИЕ
- Магниторазрядные насосы серий НМД/НМДИ/НМДО
- Вакуумные камеры научных лабораторий/промышленности
- Системы электронных и ионных микроскопов (SEM/TEM)
- Литографические и микроэлектронные установки
- Ускорительные комплексы и синхротроны
- Аналитическое оборудование (XPS, SIMS, спектрометры)
- Технологические процессы, требующие сверхвысокого вакуума (UHV/XHV)
| Модельный ряд | Номинальная мощность, Вт | Выходное напряжение при номинальной мощности, кВ | Максимальный ток, мА | Размах пульсаций выходного напряжения, % |
|---|---|---|---|---|
| SHVLP-IP-20* | 20 | 3-5-7 (ступенчатое регулирование) | до 2.9 | <0.1 |
| SHVLP-IP-50* | 50 | до 7.1 | <0.1 | |
| SHVLP-IP-100* | 100 | до 14.3 | <0.1 | |
| SHVLP-IP-200* | 200 | до 28.6 | <0.1 | |
| SHVLP-IP-400* | 400 | до 65.1 | <0.1 | |
| SHVLP-IP-700* | 700 | до 100 | <0.1 |
* Полярность: P – положительная, N – отрицательная.
