Системы управления электронной оптикой
ОПИСАНИЕ
Система управления электронной оптикой предназначена для питания и управления электромагнитными элементами растровых электронных микроскопов и электронно-лучевых колонн. Это многоканальный комплекс прецизионных источников тока для конденсорных и объективной линз, стигматоров, катушек юстировки и отклоняющей системы электронного пучка.
Высокая стабильность выходного тока и низкий уровень пульсаций обеспечивают стабильность параметров электронной оптики, воспроизводимость фокусировки и минимальный дрейф положения пучка. Количество каналов, диапазоны выходного тока и напряжения, быстродействие и состав системы могут быть адаптированы под конкретную колонну. Система может применяться совместно с высоковольтными источниками питания электронной пушки с термоэлектронным, LaB6 или полевым эмиттером.
ОСОБЕННОСТИ
- Прецизионное управление током электромагнитных линз
- Отдельные каналы для объективной и конденсорных линз
- Биполярные каналы управления стигматорами и катушками юстировки
- Быстродействующие биполярные каналы строчной и кадровой развёртки
- Низкий уровень пульсаций и шумов выходного тока
- Высокая долговременная и температурная стабильность
- Программное ограничение максимального тока каждого канала
- Регулируемая скорость изменения тока
- Контроль выходного тока и напряжения каждого канала
- Защита от короткого замыкания, перегрузки и перегрева
- Цифровое управление и дистанционный мониторинг
- Возможность изготовления конфигурации под параметры конкретной электронной колонны
ПРИМЕНЕНИЕ
- Растровая электронная микроскопия
- Электронно-лучевые колонны
| Канал | Выходной ток | Предельное напряжение | Тип |
|---|---|---|---|
| Объективная линза | 0…2 А | до 30 В | униполярный CC |
| Конденсорная линза 1 | 0…1 А | до 24 В | униполярный CC |
| Конденсорная линза 2 | 0…1 А | до 24 В | униполярный CC |
| Стигматор X | ±150 мА | ±12 В | биполярный CC |
| Стигматор Y | ±150 мА | ±12 В | биполярный CC |
| Юстировка X | ±300 мА | ±15 В | биполярный CC |
| Юстировка Y | ±300 мА | ±15 В | биполярный CC |
| Scan X | ±500 мА | ±24 В | биполярный CC |
| Scan Y | ±500 мА | ±24 В | биполярный CC |
